|
|||||
|
|
| 硅微机械扭转微镜的研究进展 | |
| 引用本文： | 栗大超,吴文刚,闫桂珍,傅星,郝一龙,胡小唐. 硅微机械扭转微镜的研究进展[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 27-32 |
| 作者姓名： | 栗大超 吴文刚 闫桂珍 傅星 郝一龙 胡小唐 |
| 作者单位： | 1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100081 2. 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100081 3. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
| 摘 要： | 硅微机械扭转微镜在国防和民用领域都有着重要的应用.根据致动机理的不同,从压电驱动方式、电磁驱动方式、电热驱动方式和静电驱动方式等方面系统地阐述了硅微机械扭转微镜的研究现状与发展方向,同时重点讨论了硅微机械扭转微镜在医疗成像和生物技术等领域中的具体应用. |
| 关 键 词： | MEMS 扭转微镜 压电驱动 电磁驱动 电热驱动 静电驱动 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0027-06 |
| 修稿时间： | 2005-04-01 |
Progress of Si-based MEMS Torsion Micromirror |
|
| Li Dachao,Wu Wengang,Yan Guizhen,Fu Xing,Hao Yilong,Hu Xiaotang. Progress of Si-based MEMS Torsion Micromirror[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 27-32 | |
| Authors: | Li Dachao Wu Wengang Yan Guizhen Fu Xing Hao Yilong Hu Xiaotang |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |