| 用In2O3薄膜制成的高感度半导体O3传感器 |
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| 引用本文： | 牛文成,徐春林,张福海,祁增芳,张玉英,赖斌斌.用In2O3薄膜制成的高感度半导体O3传感器[J].传感技术学报,1998,11(1):7-12. |
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| 作者姓名： | 牛文成 徐春林 张福海 祁增芳 张玉英 赖斌斌 |
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| 作者单位： | 南开大学电子科学系!天津市300071 |
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| 摘 要： | 用In_2O_3作敏感膜研制出小型固态高感度(sensibilty)(10×10~(-9)~1×10~(-6)O_3传感器.研究了膜厚、气体湿度和工作温度等对传感器敏感特性的影响,发现AET(AdsorptionEffect Transistor)型O_3传感器具有灵敏的响应特性.并分析了薄膜表面的化学吸附及其对薄膜电导的影响,以及AET作用对O_3非常敏感的物理机制.
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| 关 键 词： | O3 传感器 化学吸附 三氧化二铟薄膜 |
Highly Sensible Ozone Sensor Using an In_2O_3 thin film |
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| Niu Wencheng Xu Chunlin Zhang FuhaiQi Zengfang Zhang Yuying Lai Binpin.Highly Sensible Ozone Sensor Using an In_2O_3 thin film[J].Journal of Transduction Technology,1998,11(1):7-12. |
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| Authors: | Niu Wencheng Xu Chunlin Zhang FuhaiQi Zengfang Zhang Yuying Lai Binpin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | high sensibilityIn2O3 thin filmO3 sensorchemisorptiondebye - lengthAET |
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