| 用In2O3薄膜制成的高感度半导体O3传感器 |
| |
| 引用本文： | 牛文成,徐春林,张福海,祁增芳,张玉英,赖斌斌. 用In2O3薄膜制成的高感度半导体O3传感器[J]. 传感技术学报, 1998, 11(1): 7-12 |
| |
| 作者姓名： | 牛文成 徐春林 张福海 祁增芳 张玉英 赖斌斌 |
| |
| 作者单位： | 南开大学电子科学系!天津市300071 |
| |
| 摘 要： | 用In_2O_3作敏感膜研制出小型固态高感度(sensibilty)(10×10~(-9)~1×10~(-6)O_3传感器.研究了膜厚、气体湿度和工作温度等对传感器敏感特性的影响,发现AET(AdsorptionEffect Transistor)型O_3传感器具有灵敏的响应特性.并分析了薄膜表面的化学吸附及其对薄膜电导的影响,以及AET作用对O_3非常敏感的物理机制.
|
| 关 键 词： | O3 传感器 化学吸附 三氧化二铟薄膜 |
Highly Sensible Ozone Sensor Using an In_2O_3 thin film |
| |
| Niu Wencheng Xu Chunlin Zhang FuhaiQi Zengfang Zhang Yuying Lai Binpin. Highly Sensible Ozone Sensor Using an In_2O_3 thin film[J]. Journal of Transduction Technology, 1998, 11(1): 7-12 |
| |
| Authors: | Niu Wencheng Xu Chunlin Zhang FuhaiQi Zengfang Zhang Yuying Lai Binpin |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | high sensibilityIn2O3 thin filmO3 sensorchemisorptiondebye - lengthAET. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
