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| 红外自动椭偏仪最佳测试条件的研究 | |
| 引用本文： | 张克奇,严义埙.红外自动椭偏仪最佳测试条件的研究[J].红外与毫米波学报,1986,5(4). |
| 作者姓名： | 张克奇 严义埙 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 (张克奇)，中国科学院上海技术物理研究所(严义埙) |
| 摘 要： | 宽波段工作的自动红外椭偏仪的测量精度主要受探测器噪声的限制。本文分析了光学薄膜参数n和d的测量精度如何随测量条件(如起偏器、检偏器的方位角和入射角)而变化,并提出选择最佳测量条件的方法。最后,给出具体实例的计算结果并与实验结果进行了比较。 |
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