| 平面型磁悬浮平台的结构与分散控制 |
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| 引用本文： | 陈启会,刘群明,胥晓. 平面型磁悬浮平台的结构与分散控制[J]. 机械设计与研究, 2013, 29(2) |
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| 作者姓名： | 陈启会 刘群明 胥晓 |
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| 作者单位： | 中南大学机电工程学院高性能复杂制造国家重点实验室,长沙,410083 |
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| 基金项目： | 国家(863)发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 针对微电子加工等超精密制造领域高精度和超洁净等要求,提出了一种平面型磁悬浮平台.介绍了平台的结构及工作原理,通过电磁力的优化计算得到系统的等效质量,建立了系统分散控制的动态等效单自由度模型.讨论了系统刚度阻尼和控制系统之间的关系,在此基础上确定了各控制参数随平台运动位置的函数关系.最后给出了平台的悬浮波形,仿真结果表明,在动态控制参数下,系统超调量更小;实验结果表明,系统动态响应快,具有良好的悬浮性能,鲁棒性强.
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| 关 键 词： | 平面型 磁悬浮 结构 分散控制 |
Structure and Decentralized Control of Planar Magnetic Levitation Platform |
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| Chen Qihui , Li Qunming , Xu Xiao. Structure and Decentralized Control of Planar Magnetic Levitation Platform[J]. Machine Design and Research, 2013, 29(2) |
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| Authors: | Chen Qihui Li Qunming Xu Xiao |
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