全玻璃无油超高真空系统的研制

本文介绍一种简单实用、廉价的全玻璃无油超高真空系统。系统包括冷吸附泵、钛泵、前置阀门和超高真空阀门四部分。文中首先综合分析国外近年来玻璃无油系统及零件的发展动向,吸取国外的新成果,并结合我们的研究工作,设计具有一定特点的零件。其中,前置玻璃无油阀门是参考并改进一九七三年Pope公司介绍的产品;超高真空阀门是采用翻边式和磨砂结构的镓阀门,其漏气量可比普通结构降低四个数量级,而且能承受一个大气压力差;钛泵采用钛球升华离子泵,升华器的钛贮量约8克,比老式的缠绕式升华器增加了几十倍,钛泵壁的冷却采用外加水冷套,大大地简亿了钛泵制作工艺和降低了成本。用机械泵和吸附阱代替冷吸附泵,可构成玻璃的半无油超高真空系统,在液氮供应困难的地区有使用价值。最后,介绍玻璃无油系统在电子管排气和计量部门的一些应用。