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Ni 和Ni-PTFE自润滑模具的脱模研究
作者姓名:张鹏  刘刚  田扬超
摘    要:微塑铸是LIGA技术大批量、低成本生产的关键技术.由于LIGA技术制造的微结构具有较大的高宽比,在脱模过程中,模具侧壁与塑铸材料之间会存在较大的摩擦力.这种摩擦力会损毁模具或塑铸产品,从而给脱模带来困难.本文制作了镍(Ni)模具和Ni-PTFE(聚四氟乙烯)模具,并比较其脱模效果.试验表明,对同一种微结构,Ni-PTFE模具的连续脱模次数要多于Ni模具.

关 键 词:LIGA  模具  Ni-PTFE
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