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| 低温真空泵 | |
| 引用本文： | Л.Л.Штейн,张国铭,马魁武.低温真空泵[J].低温与特气,1985(1):43-46. |
| 作者姓名： | Л.Л.Штейн 张国铭 马魁武 |
| 作者单位： | [1]不详 [2]光明所 [3]中国科技情报研究所重庆分所 |
| 摘 要： | 近年来，无油抽吸设备在微电子产品和电真空与光电仪器生产中得到了广泛应用。这种设备最有发展前途之一是基于独立微型低温系统的低温真空泵。这种泵的作用原理是基于气体冷凝降压效应，即表面气体被冷到低温，冷凝时压力下降，不冷凝气体在低温下被固体吸附剂吸附。 |
| 关 键 词： | 真空泵 微电子产品 固体吸附剂 光电仪器 低温系统 发展前途 作用原理 压力下降 电真空 冷凝 设备 气体 |
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