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| 自律分散微系统 | |
| 引用本文： | 高晓萍.自律分散微系统[J].光机电信息,1995(11):10-12. |
| 作者姓名： | 高晓萍 |
| 摘 要： | 作为微机械的制作方法被视为最有希望的是半导体微型机械加工法,该方法擅长将传感器和电子线路组合在一起,大批量生产具有自律功能的微型机械,微机械与自律分散系统有不可分割的联系.本文首先简单介绍自律分散系统,然后介绍自律分散微系统的研究例子. |
| 关 键 词： | 半导体 微机械 自律分散系统 金属切削 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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