声光器件性能的提高——理论分析及工艺

首先在理论上分析了影响声光互作用衍射效率和工作带宽的因素,重点放在X切铌酸锂质点位移方向、声增透膜的设计及吸声体等三方面,然后根据分析,对器件的加工工艺进行了改进,提出了一种新的适合于二氧化碲横波器件的吸声法。用改进后的工艺加工了几个二氧化碲声光偏转器和滤光器,并将它们的衍射效率和工作带宽与工艺改进前加工的同类器件进行了比较,得到了较满意的结果。