| 基于FET结构的Pt-LaF_3混合膜溶解氧传感器 |
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| 引用本文： | 那兴波,牛文成,李华伟,谢建湘.基于FET结构的Pt-LaF_3混合膜溶解氧传感器[J].半导体学报,2001,22(9):1202-1206. |
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| 作者姓名： | 那兴波 牛文成 李华伟 谢建湘 |
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| 作者单位： | 南开大学信息技术科学院，天津300071 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:69476036)和天津市自然科学基金(批准号:941407007)资助项目. |
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| 摘 要： | 研制了一种基于 FET结构的 Pt- L a F3混合膜全固态溶解氧传感器 .对 Pt- L a F3敏感膜的敏感机制以及传感器的器件结构和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 ,给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线
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| 关 键 词： | FET结构 Pt-LaF3混合膜 溶解氧传感器 |
| 文章编号： | 0253-4177(2001)09-1202-05 |
| 修稿时间： | 2000年11月8日 |
Pt-LaF3 Mixture Film Dissolved Oxygen Sensor Based on FET Structure |
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| NA Xing-bo,NIU Wen-cheng,LI Hua-wei and XIE Jian-xiang.Pt-LaF3 Mixture Film Dissolved Oxygen Sensor Based on FET Structure[J].Chinese Journal of Semiconductors,2001,22(9):1202-1206. |
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| Authors: | NA Xing-bo NIU Wen-cheng LI Hua-wei and XIE Jian-xiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | FET structure Pt-LaF 3 mixture film dissolved oxygen sensor |
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