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| 多晶硅中杂质元素B、P的来源分析 | |
| 作者姓名： | 郎永沛 储少军 林俊峰 |
| 作者单位： | 1. 北京科技大学冶金与生态工程学院 北京 中国 100083 2. 连城桑杏硅业科技有限公司 连城 中国 366200 |
| 摘 要： | 为达到太阳能级多晶硅产品的要求,去除杂质元素B、P,以多晶硅生产为例,分析了各环节脱除B、P的效果,以及采用矿热炉生产工业硅过程中B、P的来源和去向。结果表明,工业硅生产过程中消耗的炭素材料是B、P的主要来源;选用低B、P的优质还原剂和经过处理的炭素电极,才能保证工业硅产品,满足后续多晶硅提纯工艺的要求。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 B P 炭素材料 |
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