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| 铝原子晶粒间界分凝及其对多晶硅电学特性的影响 | |
| 作者姓名： | 有洪星 刘光廷 简耀光 邵子为 |
| 作者单位： | 电子工业部55所(有洪星)，南京工学院电子工程系(刘光廷，简耀光)，南京工学院电子工程系(邵子为) |
| 摘 要： | 本文用俄歇电子能谱(AES)证明了铝原子在多晶硅晶粒间界分凝的现象,并研究了多晶硅的势垒电阻、少子寿命和霍耳迁移率.实验结果表明:铝原子的晶粒间界分提与铝原子的性质、铝原子扩散温度以及多晶硅的结构有关;铝原子晶粒间界分凝能在一定程度上改善多晶硅的电学特性,显示出铝原子晶粒间界分凝具有一定的应用潜力. |
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