| 射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究 |
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| 引用本文： | 陈灵,刘正义,邱万奇,黄元盛,刘铁林,欧阳光胜. 射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究[J]. 真空科学与技术学报, 2002, 22(5): 379-381 |
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| 作者姓名： | 陈灵 刘正义 邱万奇 黄元盛 刘铁林 欧阳光胜 |
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| 作者单位： | 1. 华南理工大学机械工程学院,广州,510640
2. 深圳市雷地科技实业有限公司,深圳,518048 |
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| 基金项目： | 国家教委博士点基金资助项目 (No.19990 5 612 1)，广东省自然科学基金资助项目 (No.990 5 48) |
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| 摘 要： | 用自行设计的RF PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积 )设备沉积类金刚石膜 ,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析。表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高、对红外有良好的增透性 ,并且耐磨耐蚀、化学稳定性好。
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| 关 键 词： | 类金刚石膜 射频辉光化学气相沉积 性能 |
| 文章编号： | 0253-9748(2002)05-0379-03 |
| 修稿时间： | 2001-12-14 |
Studies of Property of Diamond-like Films by RF-PCVD |
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| Chen Ling,Liu Zhengyi,Qiu Wanqi,Huang Yuansheng. Studies of Property of Diamond-like Films by RF-PCVD[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2002, 22(5): 379-381 |
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| Authors: | Chen Ling Liu Zhengyi Qiu Wanqi Huang Yuansheng |
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| Abstract: | The Diamond like Carbon (DLC) films were grown by RF PCVD.The mechanical,optical and chemical properties were analyzed.The result shows that the DLC films have a high hardness,low friction coefficient,good adhesion,high infrared transparency and chemical inertness. |
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| Keywords: | Diamond like carbon films RF PCVD Properties |
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