| 可调腔长全光纤F-P腔纳米位移传感器的实验研究 |
| |
| 引用本文： | 吴宇,曾旭,刘晓旻,杨国光. 可调腔长全光纤F-P腔纳米位移传感器的实验研究[J]. 光电子．激光, 2008, 19(9) |
| |
| 作者姓名： | 吴宇 曾旭 刘晓旻 杨国光 |
| |
| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州,310027 |
| |
| 摘 要： | 采用一种可变腔长的全光纤结构Fabry-Perot(F-P)腔作为传感器件构建了纳米微位移传感系统,利用高精度的压电陶瓷驱动器模拟微位移输出.通过频域插值的方式对F-P腔输出光谱解调,计算出腔长值.实验结果表明,输出光谱解调后的腔长值与压电陶瓷实际的驱动量相吻合,静态位移分辨率小于4 nm,最大测量范围可达50 μm.采用对光强进行高频调制和相位解调的方式提高了系统的动态测量精度和稳定性.该系统体积小,灵敏度高,重复性好,并且不受电磁场干扰,便于用M()EMS技术制作成微型传感器.
|
| 关 键 词： | 光纤F-P传感器 微位移测量 腔长可调 光谱解调 |
An high-finesse nano-displacement sensor based on all-fiber intrinsic Fabry-Perot interferometer with variable cavity length |
| |
| WU Yu,ZENG Xu,LIU Xiao-min,YANG Guo-guang. An high-finesse nano-displacement sensor based on all-fiber intrinsic Fabry-Perot interferometer with variable cavity length[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2008, 19(9) |
| |
| Authors: | WU Yu ZENG Xu LIU Xiao-min YANG Guo-guang |
| |
| Affiliation: | WU Yu,ZENG Xu,LIU Xiao-min,YANG Guo-guang(State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | optical fiber Fabry-Perot snesor nano-displacement measurement variable cavity length spectrum demodulation |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《光电子．激光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《光电子．激光》下载全文 |
|
