用离子束辅助蒸发技术镀制高性能硫化锌红外增透膜

本文简要地介绍了用离子束辅助蒸发技术在高折射率储（Ｇｅ）基片上镀制高性能硫化锌（ＺｎＳ）红外增透膜（也称红外减反射膜）及其工艺的研究，通过与常规热蒸发技术镀制硫化锌增透膜的性能比较，证实了离子束辅助蒸发技术对提高硫化锌红外增透膜的光学特性、膜层质量及改变薄膜的结构、应力状态有良好的效果，试验表明用该技术镀制高性能硫化锌红外增透膜能满足长寿命、高可靠卫星的使用要求。