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| Cu/SU-8复合结构的高精度机械研磨 | |
| 作者姓名： | 田苗 周欣 陈舒静 张笛 瞿敏妮 毛海平 乌李瑛 |
| 摘 要： | 由于其独特的厚度优势,SU-8经常在微加工领域被用作模具,通过电镀实现金属的大深宽比结构.但是,由于电镀的特殊性,其获得的金属结构表面往往需要进行研磨整平.对在SU-8大深宽比结构中电镀金属后形成的复合结构的研磨进行研究,设计并制备了 Cu/SU-8复合结构,并进行了一系列表面磨削实验,分析了复合结构的研磨机理和磨轮的... |
| 关 键 词： | 复合结构 电镀 研磨 SU-8 粗糙度 |