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| 高速台型硅雪崩光电二极管的研制 | |
| 作者姓名： | 代振华 解金山 夏应华 王俊卿 |
| 作者单位： | 武汉邮电科学研究院(代振华，解金山，夏应华)，武汉邮电科学研究院(王俊卿) |
| 摘 要： | 为满足大容量,长距离光纤通信和其它快速微弱光信号的探测,我们采用化学腐蚀和表面钝化技术,研制成功了具有近乎直台角的N~+PP~+硅雪崩光电二极管(MAPD).该器件具有工艺简单,成本低,响应速度快等优点.并且有长期工作的稳定性.文中详细地讨论了器件结构的设计,并概述了制造方法和光电特性. |
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