| 铜互连布线及其镶嵌技术在深亚微米IC工艺中的应用 |
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| 引用本文： | 张兆强,郑国祥,黄榕旭,杨兴,邵丙铣,宗祥福.铜互连布线及其镶嵌技术在深亚微米IC工艺中的应用[J].固体电子学研究与进展,2001,21(4):407-414. |
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| 作者姓名： | 张兆强 郑国祥 黄榕旭 杨兴 邵丙铣 宗祥福 |
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| 作者单位： | 1. 复旦大学材料科学系,
2. 上海先进半导体制造有限公司, |
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| 摘 要： | 近几年来 ,随着 VLSI器件密度的增加和特征尺寸的减小 ,铜互连布线技术作为减小互连延迟的有效技术 ,受到人们的广泛关注。文中介绍了基本的铜互连布线技术 ,包括单、双镶嵌工艺 ,CMP工艺 ,低介电常数材料和阻挡层材料 ,及铜互连布线的可靠性问题
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| 关 键 词： | 铜布线 镶嵌技术 化学机械抛光 介质材料 介电常数 可靠性 |
| 文章编号： | 1000-3819(2001)04-407-08 |
| 修稿时间： | 2000年4月10日 |
Application of Copper Interconnect and Damascene Technology in Deep Submicron IC |
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| Abstract: | As an effective method of reducing the delay of interconnect, copper interconnect technology draws widely attention in recent years because of increasing circuit density and decreasing featuer dimension in VLSI devices. This paper introduces basic technology of copper interconnect, including single and dual damascene technology, CMP technology, low k dielectric materials, barrier materials and reliability of copper interconnect. |
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| Keywords: | copper interconnect damascene technology CMP dielectric material dielectric coefficient reliability |
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