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| 特种微细加工的现状及应用 | |
| 引用本文： | 荣烈润.特种微细加工的现状及应用[J].机电一体化,2003,9(3):6-9. |
| 作者姓名： | 荣烈润 |
| 作者单位： | 上海市静安区业余大学,上海,200040 |
| 摘 要： | 本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用。 |
| 关 键 词： | 特种微细加工 电火花微细加工 离子束微细加工 激光微细加工 超声微细加工 |
The Present State of Special Microfabrication and their Applications |
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