Point 35 Microstructures宣布推出汽相氧化物释放蚀刻模块

Point 35 Microstructures公司宣布推出汽相氧化物释放蚀刻模块,进一步扩展其微机电系统（MEMS）单晶圆制造memsstar产品系列。这项新增的技术将确保MEMS器件设计师得到更多的生产选择,同时带来了宽泛的制造工艺窗口和各种工艺控制等等好处,从而使良率得到了最大的提升。