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| 半导体技术 | |
| 摘 要： | O472008010668低红外发射率TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜/刘海鹰,刁训刚,王丽玲,杨盟,武哲,舒远杰(北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理中心)//功能材料与器件学报.―2007,13(1).―7～12.利用磁控溅射制备了银含量在100%至80%之间的单层银铜合金薄膜和TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米四层膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、扫描俄歇微探针,分光光度计、红外发射率测量仪对样品进行表征,研究了单层金属膜和多层膜的光学、电学性质随着银含量的变化以及热处理前后薄膜性能的变化。结果表明:相同厚度的合金膜,随着Ag含量的降低… |
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