| TiN涂层性能的分析与测定 |
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| 引用本文： | 王广宏,安志义.TiN涂层性能的分析与测定[J].表面技术,1992,21(3):120-123. |
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| 作者姓名： | 王广宏 安志义 |
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| 作者单位： | 清华大学，清华大学 |
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| 摘 要： | 测定并分析了用PCVD法获得的TiN涂层内的残余应力、涂层的抗变形性以及涂层的耐磨性。实验结果表明,TiN涂层内有残余应应力存在,在一定的变形力作用下,涂层将发生脆性断裂,TiN涂层的耐磨性是45°淬火钢的24倍。TiN涂层这些特性为它的应用奠定了基础。
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| 关 键 词： | 气相沉积 等离子体 氮化钛 涂层 |
Analysis and Determination of the Properties of TiN Coating |
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| Wang Guanghong An Zhiyi.Analysis and Determination of the Properties of TiN Coating[J].Surface Technology,1992,21(3):120-123. |
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| Authors: | Wang Guanghong An Zhiyi |
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| Affiliation: | Tsinghua University |
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| Keywords: | TiN coating PCVD deformation resistance residual stresses wear resistance |
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