| 悬臂梁的受控源等效电路宏模型的建立及验证 |
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| 引用本文： | 闻飞纳,李伟华,戎华.悬臂梁的受控源等效电路宏模型的建立及验证[J].微纳电子技术,2003,40(7):76-79. |
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| 作者姓名： | 闻飞纳 李伟华 戎华 |
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| 作者单位： | 东南大学微电子中心,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助项目(2002AA404010);教育部重大项目(0216) |
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| 摘 要： | 针对能代表MEMS器件特征的悬臂梁结构，采用了SPICE中标准多项式受控源的形式建立悬臂梁的多模态小信号等效电路宏模型。在外力的作用下，用SPICE软件对此悬臂梁宏模型和外加电路进行了系统级的模拟，得到分布参数的力传感器的输出电压幅频特性曲线；最后采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证。
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| 关 键 词： | 悬臂梁 受控源 等效电路 宏模型 MEMS器件 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0076-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Creation and verification of the controlled source macromodel of equivalent circuit for cantilever beam |
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