| BaTiO3铁电薄膜低温异质外延的生长模式研究 |
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| 引用本文： | 李金隆,张鹰,魏贤华,李言荣.BaTiO3铁电薄膜低温异质外延的生长模式研究[J].功能材料,2005,36(3):353-356. |
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| 作者姓名： | 李金隆 张鹰 魏贤华 李言荣 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 |
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| 摘 要： | 利用激光分子束外延异质外延 BaTiO3 薄膜。通过反射式高能电子衍射对薄膜生长进行原位监测,利用原子力显微镜分析薄膜表面形貌,发现在沉积速率为 0.016nm/s,激光功率为 6J/cm2 的条件下,当基片加热温度高于 480℃时,BaTiO3 薄膜以层状生长模式进行生长;而当温度在 430~480℃之间时,薄膜生长为SK模式,即层状加岛状的混合生长模式。进一步降低基片加热温度,在 430℃以下观察到了三维岛状生长模式。通过优化激光功率和沉积速率等工艺参数,得到了层状生长 BaTiO3 薄膜的最低结晶温度为330℃。根据实验结果分析了激光功率对薄膜生长温度的影响。同时结合 X 射线衍射分析在不同的生长条件下,研究温度对薄膜异质外延生长的影响,发现在较高的生长温度下,在 BaTiO3 薄膜生长过程中,位错产生的几率较小,薄膜的外延性好,而在较低的生长温度下,薄膜内部位错较多,异质外延性不佳。
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| 关 键 词： | BaTiO3 低温 异质外延 |
| 文章编号： | 1001-9731(2005)03-0353-04 |
| 修稿时间： | 2004年7月5日 |
Study of growth mode in BaTiO3 heteroepitaxy at low temperature |
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| LI Jin-long,ZHANG Ying,WEI Xian-hua,LI Yan-rong.Study of growth mode in BaTiO3 heteroepitaxy at low temperature[J].Journal of Functional Materials,2005,36(3):353-356. |
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| Authors: | LI Jin-long ZHANG Ying WEI Xian-hua LI Yan-rong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | BaTiO_3 low temperature heterogeneity extension |
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