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| 硅表面缺陷对金刚石成核结膜的重要作用 | |
| 引用本文： | 李胜华,张志明,张冬喜,竺品芳,丁正明.硅表面缺陷对金刚石成核结膜的重要作用[J].微细加工技术,1990(Z1). |
| 作者姓名： | 李胜华 张志明 张冬喜 竺品芳 丁正明 |
| 作者单位： | 上海交通大学 (李胜华，张志明，张冬喜，竺品芳)，上海交通大学(丁正明) |
| 基金项目： | 国家高科技和上海市自然科学基金 |
| 摘 要： | 本文采用研磨、超声波和化学方法处理单晶硅基片,观察了缺陷形成的形态,进行低压法合成金刚石多晶薄膜的实验研究,初步讨论了缺陷在金刚石成核结膜中的重要作用。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |