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| 碳纤维无催化剂法制备β-SiC纳米晶须 | |
| 作者姓名： | 吴艳军 张亚非 杨忠学 吴建生 |
| 作者单位： | 上海交通大学"薄膜与微细技术"教育部重点实验室微纳米科学技术研究院, 上海 200030 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(5013103050272039) |
| 摘 要： | 介绍了使用碳纤维为固相碳源,无催化剂加入制备β-SiC纳米晶须的一种新方法. 制备了直径为10-40nm,长度为几个微米的纯度较高的β-SiC纳米晶须.讨论了这个制备方法的特点,并比较了几种不同制备方法的优缺点.同时分析了β-SiC纳米晶须的显微组织并探讨了其生长机理.研究表明,较高的生长温度、SiO和CO的局部过饱和蒸汽压是此方法能够大量制备β-SiC纳米晶须的关键因素. |
| 关 键 词： | SiC纳米晶须 制备技术 纳米电子材料 |
| 文章编号： | 1000-324X(2005)03-0740-05 |
| 收稿时间： | 2004-04-23 |
| 修稿时间： | 2004-06-10 |
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