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| 平面型器件欧姆接触的衡量——圆形传输线模型外推法 | |
| 引用本文： | 陈存礼,徐世晖.平面型器件欧姆接触的衡量——圆形传输线模型外推法[J].半导体学报,1987,8(1):102-108. |
| 作者姓名： | 陈存礼 徐世晖 |
| 作者单位： | 南京大学物理系 (陈存礼)，南京大学物理系(徐世晖) |
| 摘 要： | 本文提出一个衡量平面型器件欧姆接触的新方法——圆形传输线模型外推法.样品无需台面绝缘,只须一次合金化即能完成测试结构图形.用圆形传输线模型导出了测量接触电阻率ρ_c的表达式,以硅和砷化镓两种半导体材料进行验证,与线性传输线模型的结果一致.讨论了接触电极之下与接触电极之外薄层电阻差异的影响. |
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