溶胶—凝胶法制备掺钛SnO2薄膜的气敏光学特性研究 |
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引用本文: | 冯金垣,周壹义,邓健强.溶胶—凝胶法制备掺钛SnO2薄膜的气敏光学特性研究[J].传感器与微系统,2012(2):84-86. |
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作者姓名: | 冯金垣 周壹义 邓健强 |
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作者单位: | 华南理工大学理学院 |
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摘 要: | 采用溶胶—凝胶(sol—gel)法制备掺钛SnO2薄膜,通过制备过程中变化不同质量分数的钛掺杂来制备3种不同质量分数(5%,10%,15%)的掺钛SnO2薄膜。在常温下对膜片在丙酮、甲烷气氛中进行气敏光学特性测试。结果表明:掺钛SnO2薄膜在常温下对不同的测试气体具有不同的反应,并且薄膜的灵敏度与掺杂量有关;质量分数为5%钛掺杂SnO2薄膜在丙酮气氛下的灵敏度在1300~2500 nm波长范围保持在13%左右,而质量分数为15%钛掺杂SnO2薄膜在甲烷气氛下的灵敏度在1700~2300 nm范围内保持在7%左右。
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关 键 词: | 溶胶—凝胶法 掺钛SnO2薄膜 丙酮气氛 甲烷气氛 反射率 灵敏度 |
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