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渐变折射率分布MMI型光功分器的研制
作者姓名:王明华  孙一翎  马慧莲  李锡华  徐义刚  宋南辛
作者单位:浙江大学信息学院信电系光电子研究所 杭州310027(王明华,孙一翎,马慧莲,李锡华,徐义刚),浙江大学信息学院信电系光电子研究所 杭州310027(宋南辛)
基金项目:国家自然科学基金重点资助项目(批准号:60436020);浙江省科学技术厅重点项目(计划编号:2004C21049)
摘    要:以离子交换玻璃波导为例详细分析了渐变折射率分布波导中的自镜像效应,并完成了1×8渐变折射率分布MMI光功分器的设计和特性分析。在理论分析和设计的基础上完成了器件的制作,包括在国产K9光学玻璃上利用K+-Na+离子交换技术和以苯甲酸为交换源在铌酸锂基片上利用质子交换工艺分别完成1×8MMI光功分器的制作。测试表明器件基本实现了光均分功能。

关 键 词:集成光学 多模干涉 光功分器 折射率分布 MMI型 离子交换技术 玻璃波导 自镜像效应 特性分析 质子交换
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