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| 机电耦合下两端固支微梁的静态分析 | |
| 引用本文： | 陈美琴.机电耦合下两端固支微梁的静态分析[J].机电技术,2012(5):56-58. |
| 作者姓名： | 陈美琴 |
| 作者单位： | 闽西职业技术学院机械工程系,福建 龙岩 364021 |
| 摘 要： | 在微机电系统中,静电驱动两端固支微梁常作为驱动结构,因此对微梁结构的静态分析研究具有重要意义。采用ANASYS中直接耦合法Trans126降阶单元,建立微梁的机电耦合模型,分析几何结构参数与其最大挠度的关系,进一步揭示在微机电结构中微梁抗弯刚度与其厚度的关系。 |
| 关 键 词： | MEMS 两端固支微梁 挠度 厚度 |
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