| 新型压电驱动微流体混合器实验 |
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| 引用本文： | 孙长敬,褚家如.新型压电驱动微流体混合器实验[J].纳米技术与精密工程,2006,4(2):132-135. |
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| 作者姓名： | 孙长敬 褚家如 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学工程科学学院,合肥,230027 |
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| 基金项目： | 教育部优秀青年教师资助计划;高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 鉴于MEMS技术的工艺复杂性及昂贵的制作成本，对基于MEMS技术的压电驱动微流体混合器的结构进行了改进．利用常规的激光加工方法制作了不同尺寸的混合器，并通过实验对其性能进行了研究．结果显示，新型混合器在雷诺数为6．9、悬臂梁振动频率为200Hz、驱动电压为60V时达到充分混合所需的通道长度仅为1．1mm．这比现有的混合器在性能上有很大的提高。基本可以满足目前大多数微流体系统应用的需要．
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| 关 键 词： | 压电悬臂梁 微流体 混合器 |
| 文章编号： | 1672-6030（2006）02-0132-04 |
| 收稿时间： | 2005-10-09 |
| 修稿时间： | 2005年10月9日 |
Experimental Investigation of a New Piezoelectric Driven Microfiuidic Mixer |
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| SUN Chang-jing,CHU Jia-ru.Experimental Investigation of a New Piezoelectric Driven Microfiuidic Mixer[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2006,4(2):132-135. |
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| Authors: | SUN Chang-jing CHU Jia-ru |
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| Abstract: | The structure of the piezoelectric-driven microfluidic mixer based on micro electron mechanical systems (MEMS) technology proposed by the author is improved to fabricate a new micromixer of various dimensions using laser method. Its performance is investigated experimentally in this paper and test results indicate that the mixing length of 1.1 mm can be achieved in condition of Reynolds number of 6.9, sway frequency of 200 Hz and driving voltage of 60 V, which is better than that of existing micromixers and satisfies most microfluidic applications. |
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| Keywords: | piezoelectric cantilever microfluid mixer |
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