| 衍射光学器件的激光辅助制造 |
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| 引用本文： | 梁宜勇,杨国光.衍射光学器件的激光辅助制造[J].光学仪器,2002(Z1). |
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| 作者姓名： | 梁宜勇 杨国光 |
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| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027
(梁宜勇)，浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027(杨国光) |
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| 摘 要： | 衍射光学器件 DOE是基于衍射光学原理制成的微光学器件。采用类似于微电子加工手段的激光辅助制造技术——激光直写技术 ,可以制作具有高衍射效率的 DOE。激光直写系统的性能 ,比如光强控制、坐标定位以及自动对焦等 ,直接影响制成器件的衍射效率。最后对曲面衍射光学器件激光辅助制造的关键技术进行了分析
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| 关 键 词： | 衍射光学器件 激光直写系统 衍射效率 光强控制 坐标定位 自动对焦 |
Laser aided fabrication of diffractive optical element |
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| LIANG Yi yong,YANG Guo guang.Laser aided fabrication of diffractive optical element[J].Optical Instruments,2002(Z1). |
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| Authors: | LIANG Yi yong YANG Guo guang |
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| Abstract: | Diffractive optical element(DOE)is a diffractive optics based microoptical element.DOE with high diffractive efficiency can be fabricated by laser aided fabrication technology LDWS(laser direct writing system),similar to the way manufacturing micro electronics.The performance of LDWS,such as intensity control,coordinates orientation and auto focusing,directly affects the diffractive efficiency of fabricated element.Last analyse the key technology fabricating curve surface DOE by laser aided fabrication. |
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| Keywords: | DOE LDWS diffractive efficiency intensity control coordinates orientation automatic focusing |
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