失效分析技术的趋势

各个公司在对IC设计和制造过程进行控制时,适当的失效分析可以提供有用的、节约成本的数据。对没有通过一个或多个制造测试的IC,本文将介绍其失效的性质或种类,及失效分析技术的发展趋势和新的IC失效分析方法——缺陷相关分析(DCA)。