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研究集成电路可靠性的物理方法
引用本文:
志全.研究集成电路可靠性的物理方法[J].微电子学,1972(6).
作者姓名:
志全
摘 要:
引言一般说来,集成电路的可靠性问题是指用户通常不可能肯定某种器件在装备之前在使用环境中具有所要求的平均故障时间。根据失效物理学原理,保证集成电路可靠性有两种方法,这两种方法可以预料与识别在环境应力之下缺陷和失效机理,并有两种结果:其一,能选择装配前的应力,当把这应力加到器件上时,将会显示出缺陷和失效机
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