| 宽带直接接触式RF MEMS开关 |
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| 引用本文： | 郁元卫,贾世星,朱健,陈辰. 宽带直接接触式RF MEMS开关[J]. 传感技术学报, 2008, 21(4): 688-691 |
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| 作者姓名： | 郁元卫 贾世星 朱健 陈辰 |
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| 作者单位： | 南京电子器件研究所,南京,210016;单片集成电路与模块国家级重点实验室,南京,210016;南京电子器件研究所,南京,210016 |
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| 摘 要： | 本文提出一种静电驱动直接接触式宽带MEMS开关,包含CPW传输线、双U型金属悬臂梁、触点和锚区,兼顾了开关接触可靠、克服微结构粘连和低驱动电压三大结构可靠性设计因素。本开关为三端口开关,使用低温表面微机械工艺,制作在400μm厚的高阻硅衬底上,芯片尺寸0.8mm×0.9mm。样品在片测试结果表明,在6GHz频点,开关本征损耗0.1dB,隔离度24.8dB,等效开关接触电阻0.6Ω,关态电容6.4fF,开关时间47μs,开关驱动电压为20-60V。
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| 关 键 词： | 射频微机电开关 直接接触式 宽带 宽驱动电压 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)04-0688-04 |
| 修稿时间： | 2007-09-30 |
A Broadband Ohmic RF MEMS Switch |
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| YU Yuanwei,JIA Shixing,ZHU Jian,Chen Chen. A Broadband Ohmic RF MEMS Switch[J]. Journal of Transduction Technology, 2008, 21(4): 688-691 |
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| Authors: | YU Yuanwei JIA Shixing ZHU Jian Chen Chen |
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| Affiliation: | 1.Nanjing Electronic Devices Institute, Nanjing,2100162. National Key Lab. of Monolithic Integrated Circuits and Modules, Nanjing, 210016 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | RF MEMS switch Metal-contact Broadband Wide-actuation voltage |
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