YBCO半导体薄膜的热辐及宽光谱响应特性的研究 |
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作者姓名: | 李建利 李国栋 等 |
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作者单位: | 长春光学精密机械学院,吉林长春130022 昆明物理所 |
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摘 要: | 本文就Si为衬底的钆钡铜氧(分子式Y1Ba2Cu3O7-δδ≥0.5,简称YBCO)半导体薄膜的热辐射及宽光谱响应应特性进行好研究,发现这种半导体探测器响应波段不仅在红外波段,而且在亚毫米波段甚至毫米波段都有良好的响应特性,该薄膜是继VO2薄膜之后用于非制冷畿外焦平面的有一种新材料。
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关 键 词: | YBCO半导体薄膜 热辐射 宽光谱响应 非制冷红外焦平面阵列 红外探测器 |
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