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| Ge—Au合金膜的微结构及电子束诱导晶化 | |
| 作者姓名： | 巴龙 吴自勤 |
| 作者单位： | 中国科学院固体物理研究所，中国科技大学基础物理中心 |
| 摘 要： | ＧｅＡｕ体系是典型的二元共晶系，在室温平衡状态下，二者不相溶。在蒸发沉积制成的薄膜样品中，其非平衡结构对沉积条件敏感，低金属含量和低衬底温度，促进沉积形成非晶薄膜。通过研究不同条件下沉积的合金膜的微结构，可以了解成膜机理；利用电子束诱导晶化，可以为研究晶化动力学过程提供实时观察，并且在ＧｅＡｕ非晶薄膜中实现微区晶化，为其在微电子和信息领域提供应用的可能 |
| 关 键 词： | 非晶态 锗 铜 合金膜 微结构 电子束 晶化 |
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