Mo/SiO2软X射线多层膜的结构研究 |
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作者姓名: | 王凤平 崔明启 |
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作者单位: | 北京科技大学材料物理系,中国科学院高能物理研究所同步辐射室 |
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摘 要: | 本文用磁控射方法制备了几种Mo/SiO2多层膜。在北京同步辐射装置(BSRF)的衍射站上测量了其氏角X射线衍射(XRD)谱,并利用基于光学动力学理论的递推公式对低角X射线衍射谱进行了拟合,定量分析了膜层的周期结构和界面度以及界面度与层数、层厚的关系。同时用高分辩电子显微镜(HREM)对一样品的截面进行了观察。
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关 键 词: | 软X射线光学 磁控溅射 薄膜 结构 |
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