| 光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析 |
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| 引用本文： | 华洋洋,巩岩. 光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析[J]. 光电工程, 2013, 0(7) |
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| 作者姓名： | 华洋洋 巩岩 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家重大专项基金资助项目 |
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| 摘 要： | 光刻投影物镜的透镜支撑形式决定透镜的面形精度，进而影响光学系统的成像质量。本设计为实现透镜面形精度优于5 nm的RMS值，提出一种三点挠性主支撑和六点弹片辅助支撑的支撑形式。综合考虑透镜自重、夹持力和热载荷对透镜面形影响，对支撑结构进行优化设计，并进行了仿真分析。仿真后的面形结果为：上表面面形PV 21.7 nm，RMS 4.49 nm；下表面面形PV 81.3 nm，RMS 3.63 nm。仿真结果显示：该种透镜的支撑结构可以满足光刻投影物镜的高精度面形指标要求。
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| 关 键 词： | 光学器件 光刻投影物镜 支撑结构 结构优化 有限元 |
Design and Analysis for the High-precision Lens Flexible Structure of Lithography Objective Lens |
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| HUA Yangyang , GONG Yan. Design and Analysis for the High-precision Lens Flexible Structure of Lithography Objective Lens[J]. Opto-Electronic Engineering, 2013, 0(7) |
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| Authors: | HUA Yangyang GONG Yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optics device lithography objective supporting structure structure optimization finite element |
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