| 数字光刻缩微投影系统物镜的设计 |
| |
| 引用本文： | 刘海勇,周金运,雷亮,刘丽霞,刘志涛,郭华. 数字光刻缩微投影系统物镜的设计[J]. 光电工程, 2013, 0(7): 57-62 |
| |
| 作者姓名： | 刘海勇 周金运 雷亮 刘丽霞 刘志涛 郭华 |
| |
| 作者单位： | 广东工业大学 物理电子学,广州,510006 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60977029)；国家自然科学基金青年基金 |
| |
| 摘 要： | 针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5,145cycles/mm处的调制传递函数(MTF)大于0.58,充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法,模拟加工装配了100组镜头,设定空间频率为145cycles/mm时,90%的镜头FMTF>0.55,验证了加工装配实际可行。
|
| 关 键 词： | 数字光刻 缩微物镜 数字微反射镜 光学设计 |
Design of Reduced Projection Lens for Digital Lithography |
| |
| LIU Haiyong , ZHOU Jinyun , LEI Liang , LIU Lixia , LIU Zhitao , GUO Hua. Design of Reduced Projection Lens for Digital Lithography[J]. Opto-Electronic Engineering, 2013, 0(7): 57-62 |
| |
| Authors: | LIU Haiyong ZHOU Jinyun LEI Liang LIU Lixia LIU Zhitao GUO Hua |
| |
| Affiliation: | ( School of Physics & Optoelectronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China ) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | digital lithography reduced lens DMD optical design |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
