| 低能离子束原位研究系统的建立及其应用 |
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| 引用本文： | 邓宗武,郭伟民,刘焕明. 低能离子束原位研究系统的建立及其应用[J]. 真空科学与技术学报, 1999, 19(5): 2 |
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| 作者姓名： | 邓宗武 郭伟民 刘焕明 |
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| 作者单位： | 清华大学化学系!北京100084(邓宗武，曹立礼)，香港中文大学化学系(郭伟民)，香港中文大学物理系(刘焕明) |
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| 摘 要： | 介绍一套具有质量分辨能力的低能离子束原位研究系统及其性能。在该系统中 ,低能离子束能量可调范围为 5～ 2 0 0eV ,束流为 1～ 6 μA ;在 10 0eV的能量下 ,束流密度可达 10 0 μA/cm2 ;离子束能量降至 10eV时 ,束流密度为 10～ 2 0 μA/cm2 。能量分散为± 0 5eV。离子的质量和能量分别由四极质谱仪和筒镜能量分析器表征 ,离子束束流和束流密度分布用两个法拉第杯进行测量。WienFilter的质量分辨率为 4 0。系统上装有XPS ,UPS ,LEED等分析仪器 ,确保在UHV条件下实现原位表面研究
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| 关 键 词： | 低能离子束 原位研究系统 费米能级 InP |
Construction and Application of an In-situ Low Energy Ion Beam Research System |
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| Deng Zongwu,Raymund.W.M.Kwok,Leo.W.M.Lau,Cao Lili. Construction and Application of an In-situ Low Energy Ion Beam Research System[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 1999, 19(5): 2 |
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| Authors: | Deng Zongwu Raymund.W.M.Kwok Leo.W.M.Lau Cao Lili |
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| Affiliation: | Deng Zongwu,Raymund.W.M.Kwok,Leo.W.M.Lau,Cao LiliDepartment of Chemistry,Tsinghua University,Beijing,100084, Department of Chemistry,The Chinese University of Hongkong, Department of Physics,The Chinese University of Hongkong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Low energy ion beam In situ experimental system Fermi level InP |
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