| 常压检漏的多种示漏气体分析仪的研制 |
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| 引用本文： | 肖祥正,阎荣鑫. 常压检漏的多种示漏气体分析仪的研制[J]. 真空与低温, 1999, 5(1): 4-9 |
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| 作者姓名： | 肖祥正 阎荣鑫 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所 |
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| 摘 要： | 介绍了一种以四极质谱计为核心的适合在常压下检漏的多种示漏气体分析仪的结构、工作原理、设计方案、试验方法、试验结果。该仪器具有在大气压下检测Ｈｅ浓度为１×１０－９、Ｎｅ浓度为２×１０－７、ＣＦ４浓度为１×１０－９的能力。
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| 关 键 词： | 检漏 常压 四极质谱 |
THE DEVELOPMENT OF AN ANALYSIS EQUIPMENT WITH MULTIPLE SHOWING GAS SUTABLE FOR LEAK DETECTING IN ATMOSPHERE |
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| Xiao Xiangzhen Yan Rongxin Chen Guangfeng Zhang Jiazhu Wang Rongzong Xie Chaoyang. THE DEVELOPMENT OF AN ANALYSIS EQUIPMENT WITH MULTIPLE SHOWING GAS SUTABLE FOR LEAK DETECTING IN ATMOSPHERE[J]. Vacuum and Cryogenics, 1999, 5(1): 4-9 |
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| Authors: | Xiao Xiangzhen Yan Rongxin Chen Guangfeng Zhang Jiazhu Wang Rongzong Xie Chaoyang |
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| Keywords: | leak detecting atmosphere qurdrupole mass spectrum |
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