1×N MEMS光开关模块的设计

本文设计一种基于静电驱动的1×N MEMS光开关模块,通过软件仿真,对光路进行模拟计算;利用驱动电路上的多种控制接口将1×N MEMS光开关模块与外部驱动信号相连,实现对模块的远程控制。设计并制作一个1×4MEMS光开关模块,对插入损耗和切换时间进行测试,实验测得1×4MEMS光开关的最大插入损耗小于0.8dB,切换时间小于15ms。