干式罗茨真空泵磁流体密封的研究

本文设计了干式罗茨真空泵的磁流体密封，对磁流体密封磁场进行了有限元分析，针对不同文献中磁流体密封耐压公式的不严密甚至错误，作者对磁流体密封耐压公式进行了严密推导，在实验台上验证了磁流体真空密封的效果、耐压能力及转速对真空度的影响。本设备近十年的连续运转证明：在干式罗茨真空泵采用磁流体密封效果良好。