| Cd_(1-x)Zn_xTe晶片中Zn组分的室温显微光致发光平面扫描表征 |
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| 引用本文： | 李志锋,陆卫,蔡炜颖,黄根生,杨建荣,何力,沈学础. Cd_(1-x)Zn_xTe晶片中Zn组分的室温显微光致发光平面扫描表征[J]. 半导体学报, 2001, 22(2): 177-181 |
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| 作者姓名： | 李志锋 陆卫 蔡炜颖 黄根生 杨建荣 何力 沈学础 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室!上海200083，中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室!上海200083，中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室!上海200083，中国科学院上海技术物理研究所功能材料器件中心!上海200083，中国科学院上海技术物理研 |
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| 摘 要： | 用显微光致发光 (μ- PL)平面扫描的方法对 Cd Zn Te(CZT)晶片进行了研究 .分别在 19μm× 16 μm的缺陷区域进行微米尺度和 7.9mm× 6 .0 mm的大面积范围内进行毫米尺度的逐点 PL 测量 .对测得每一点的 PL 谱进行了拟合 ,得到测量点的禁带宽度等参数 ,其平面分布对应于 CZT中 Zn的组分分布 .统计的结果给出禁带宽度的不均匀性 .对样品进行溴抛光后重复类似的测量 ,结果表明禁带宽度的均匀性大为改善 ,接近了材料组分的真实分布
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| 关 键 词： | CdZnTe 平面分布 显微光致发光 平面扫描 |
Characterization of Zn Composition in Cd1-xZnxTe by Room Temperature Micro-Photoluminescence Mapping |
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| LI Zhi feng ,LU Wei ,CAI Wei ying ,HUANG Gen sheng YANG Jian rong ,HE li and SHEN Xue chu. Characterization of Zn Composition in Cd1-xZnxTe by Room Temperature Micro-Photoluminescence Mapping[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2001, 22(2): 177-181 |
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| Authors: | LI Zhi feng LU Wei CAI Wei ying HUANG Gen sheng YANG Jian rong HE li SHEN Xue chu |
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| Affiliation: | LI Zhi feng 1,LU Wei 1,CAI Wei ying 1,HUANG Gen sheng 2 YANG Jian rong 2,HE li 2 and SHEN Xue chu 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CdZnTe Zn composition planar distribution micro photoluminescence scanning |
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