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| 残余气体分析仪的远距离控制 | |
| 引用本文： | 肖琼,薛纪钦,彭晓华.残余气体分析仪的远距离控制[J].真空,2008,45(6). |
| 作者姓名： | 肖琼 薛纪钦 彭晓华 |
| 摘 要： | 本文介绍了MKS公司和INFICON公司的残余气体分析仪(RGA)的RS-232通讯电缆(与PC通讯)的接口引脚、功能以及从多芯简化为三芯的可行性.从而可以利用一对通用的RS-232/RS-485/422通讯转换模块将RGA的RS-232通讯转换为RS-485/422通讯,用极少的代价实现了计算机对RGA的远距离控制. |
| 关 键 词： | 残余气体分析仪 |
Remote control of residual gas analysers |
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| XIAO Qiong,XUE Ji-qin,PENG Xiao-hua.Remote control of residual gas analysers[J].Vacuum,2008,45(6). | |
| Authors: | XIAO Qiong XUE Ji-qin PENG Xiao-hua |
| Abstract: | |
| Keywords: | RS-232 RS-485 RS-422 |
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