| 微电子工业与洁净技术的发展 |
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| 引用本文： | 姜伟康,章汝熙. 微电子工业与洁净技术的发展[J]. 洁净与空调技术, 2005, 0(4): 21-28 |
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| 作者姓名： | 姜伟康 章汝熙 |
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| 作者单位： | 苏净集团苏州净化空调系统设备安装有限公司 |
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| 摘 要： | 介绍微电子技术的特点与应用领域，以及对微环境系统与洁净技术的要求。
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| 关 键 词： | 微电子工业 微环境系统 集成电路 洁净技术 微电子技术 |
| 收稿时间： | 2005-10-07 |
| 修稿时间： | 2005-11-02 |
The Development of Microelectronics Industry and Contomination Control Technology |
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| JIANG Weikang,ZHANG Ruxi. The Development of Microelectronics Industry and Contomination Control Technology[J]. Contamination Control & Air-Conditioning Technology, 2005, 0(4): 21-28 |
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| Authors: | JIANG Weikang ZHANG Ruxi |
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| Affiliation: | Shuzhou Air-conditioning (cleaning |
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| Abstract: | The specificity and applied field of microelectronics technolegy, and the requirements for minienvironment system and contamination control technology are introduced. |
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| Keywords: | Microelectronics industry Minienvironment system IC Contamination control technology |
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