改善(Pb,Ca)TiO_3薄膜的铁电性能研究 |
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引用本文: | 唐立军,唐新桂.改善(Pb,Ca)TiO_3薄膜的铁电性能研究[J].压电与声光,2003(3). |
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作者姓名: | 唐立军 唐新桂 |
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作者单位: | 长沙电力学院物理与信息工程,中国科学院上海硅酸盐研究所 长沙410077,中国科学院上海原子核研究所,上海201800,上海200050 |
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基金项目: | 中国科学院王宽诚教育基金资助项目,长沙电力学院科学基金资助项目(011040020306) |
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摘 要: | 用溶胶-凝胶法和快速退火工艺在LaNiO3/Si(111)基片制备出高度(100)取向生长的钙钛矿相(Pb0.76Ca0.24)TiO3(PCT)薄膜。用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌;测试了薄膜的铁电和介电特性。PCT薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别为9.3μC/cm2和64kV/cm,在100kHz薄膜的介电系数和损耗分别为231和0.045。比较了在不同电极制备PCT薄膜的结果,用LaNiO3作底电极,改善了铁电性,降低了矫顽场。
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关 键 词: | PCT铁电薄膜 LaNiO3电极 取向 介电特性 溶胶-凝胶 |
Ferroelectric Properties Improvement of (Pb,Ca)TiO_3 Thin Films on Si Substrates Using LaNiO_3 as Bottom Electrodes |
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Abstract: | |
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Keywords: | PCT thin films LaNiO_3 electrode orientation electrical properties Sol-Gel |
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