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改善(Pb,Ca)TiO_3薄膜的铁电性能研究
引用本文:唐立军,唐新桂.改善(Pb,Ca)TiO_3薄膜的铁电性能研究[J].压电与声光,2003(3).
作者姓名:唐立军  唐新桂
作者单位:长沙电力学院物理与信息工程,中国科学院上海硅酸盐研究所 长沙410077,中国科学院上海原子核研究所,上海201800,上海200050
基金项目:中国科学院王宽诚教育基金资助项目,长沙电力学院科学基金资助项目(011040020306)
摘    要:用溶胶-凝胶法和快速退火工艺在LaNiO3/Si(111)基片制备出高度(100)取向生长的钙钛矿相(Pb0.76Ca0.24)TiO3(PCT)薄膜。用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌;测试了薄膜的铁电和介电特性。PCT薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别为9.3μC/cm2和64kV/cm,在100kHz薄膜的介电系数和损耗分别为231和0.045。比较了在不同电极制备PCT薄膜的结果,用LaNiO3作底电极,改善了铁电性,降低了矫顽场。

关 键 词:PCT铁电薄膜  LaNiO3电极  取向  介电特性  溶胶-凝胶

Ferroelectric Properties Improvement of (Pb,Ca)TiO_3 Thin Films on Si Substrates Using LaNiO_3 as Bottom Electrodes
Abstract:
Keywords:PCT thin films  LaNiO_3 electrode  orientation  electrical properties  Sol-Gel
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