| 步距规动态测量方法研究 |
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| 引用本文： | 丁晨,王蔚晨,高宏堂,杨自本. 步距规动态测量方法研究[J]. 计量与测试技术, 2022, 49(4): 17-20,24. DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2022.4.007 |
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| 作者姓名： | 丁晨 王蔚晨 高宏堂 杨自本 |
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| 作者单位： | 安徽省计量科学研究院,中国计量科学研究院 |
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| 摘 要： | 步距规是一种典型的多量值面间距标准器,由于各工作面间相互阻隔,使步距规的校准具有一定难度.本文提出了一种新的测量方法,即应用光切显微镜的测量原理实现被测工作面的精确定位,给激光干涉比长仪提供了各个测量面的触发信号,从而实现了面间距的非接触动态连续测量.根据该方法研制了光学测头,并安装在激光干涉比长仪上进行了测量,分别对...
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| 关 键 词： | 步距规 面间距测量 精确定位 非接触测量 动态连续测量 |
Research on Dynamic Measurement of Step Gauge |
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| DING Chen,WANG Weichen,GAO Hongtang,YANG Ziben. Research on Dynamic Measurement of Step Gauge[J]. Metrology and Measurement Technique, 2022, 49(4): 17-20,24. DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2022.4.007 |
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| Authors: | DING Chen WANG Weichen GAO Hongtang YANG Ziben |
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